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用于制造設(shè)置有等離子激元波導(dǎo)的光子晶體器件的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5865263

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本發(fā)明涉及一種,包括以下步驟制備介電材料的膜;以程序化方式將聚焦離子束施加在膜上,以便獲得由根據(jù)預(yù)定晶格定位的通孔規(guī)則的平面布置組成的光子晶體,所述光子晶體還包括由晶格的在內(nèi)部沒(méi)有所述通孔的空間限制區(qū)域組成的諧振腔,所述諧振腔形成以便與至少一個(gè)電磁輻射波長(zhǎng)諧振的尺寸;以及在所述諧振腔處提供等離子激元波導(dǎo),其中提供等離子激元波導(dǎo)包括以下步驟a)從金屬有機(jī)先驅(qū)氣體開(kāi)始,通過(guò)由聚焦電子束誘導(dǎo)的化學(xué)汽相沉積在諧振腔上生成突出結(jié)構(gòu);b)沉積貴金屬層;以及c)借助于聚...
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