技術(shù)編號(hào)：5866231
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體上涉及一種用于檢測(cè)氣懸粒子或者水浮粒子的系統(tǒng)，特別地涉及一種用于檢測(cè)氣懸粒子或者水浮粒子并根據(jù)尺寸和生物學(xué)狀態(tài)對(duì)所檢測(cè)的粒子進(jìn)行分類的系統(tǒng)。本發(fā)明在檢測(cè)和分類諸如無菌生產(chǎn)設(shè)備的清潔環(huán)境中的生物粒子和污染物方面具有特別的效用，并且在有利于生物粒子的快速檢測(cè)的任何環(huán)境中都具有效用。背景技術(shù)各種制造環(huán)境要求對(duì)空氣中出現(xiàn)的不相關(guān)碎屑進(jìn)行嚴(yán)格控制。半導(dǎo)體制造例如具有長期需要的“清潔空間”，該“清潔空間，，使用大量的空氣過濾，使空氣中的粒子的數(shù)量和尺寸降低至...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。