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一種在硅片表面形成氧化層的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5868296

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料測(cè)試領(lǐng)域,尤其涉及。背景技術(shù)近年來(lái)隨著硅外延片規(guī)?;a(chǎn)的不斷擴(kuò)大,作為外延片電阻率測(cè)試的經(jīng)典測(cè)試 方法的電容-電壓(CV)測(cè)試法擔(dān)當(dāng)著一個(gè)非常重要的角色。CV法是一種通過(guò)提供掃描電 壓獲取電容參數(shù)的測(cè)量模式,然后采用特定的公式轉(zhuǎn)換方法將電容參數(shù)轉(zhuǎn)換成被測(cè)樣品電 阻率數(shù)據(jù)的測(cè)試方法。測(cè)試片的預(yù)處理是CV測(cè)試中必不可少的一個(gè)步驟?,F(xiàn)有技術(shù)中對(duì) 測(cè)試片的處理方法是采用“氫氟酸-雙氧水”聯(lián)合處理的方法對(duì)硅片進(jìn)行預(yù)處理,以在待測(cè) 硅片的表面形成...
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