技術(shù)編號：5869419
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體晶片載體映射傳感器。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體晶片的制造和處理中使用了晶片載體映射傳感器，以便檢測在晶片載體中的晶片。為了有效地處理在載體中的晶片，半導(dǎo)體工具必須知道載體內(nèi)的哪些位置具有晶片，并且是否在其中適當(dāng)?shù)乇３至诉@些晶片。晶片載體映射傳感器掃描晶片邊緣以檢測晶片的存在/不存在、以及如交叉槽等其他錯誤?！敖徊娌邸笔蔷幢３衷趩蝹€“槽”中，而錯誤地跨越了一對槽的晶片位置錯誤。在這種情況下，主要是，工具不嘗試與晶片進(jìn)行相互作用，而產(chǎn)生錯誤。晶...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。