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技術(shù)編號：5870553

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本發(fā)明涉及微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)壓力傳感器領(lǐng)域，具體為一種MEMS壓力敏感芯片，本發(fā)明還涉及該芯片的制作方法。背景技術(shù)基于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的微機(jī)械敏感器件以其體積小、成本低、結(jié)構(gòu)簡單、可 與處理電路集成等優(yōu)點得到廣泛應(yīng)用和迅速發(fā)展。MEMS壓力傳感器，是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)中最早的商業(yè)產(chǎn)品，由于MEMS壓力敏 感芯片具有輸出信號大、信號處理簡單等優(yōu)點，已經(jīng)得到了越來越廣泛的應(yīng)用，目前市場上 的MEMS壓力敏感芯片，其包括MEMS相對壓力...
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