技術(shù)編號：5871879
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明屬于光學(xué)檢測領(lǐng)域，涉及一種高分辨率光學(xué)成像系統(tǒng)波像差在線檢測裝置 及方法，尤其涉及一種針對高分辨率光刻機(jī)的投影物鏡波像差在線檢測裝置及方法。背景技術(shù)光學(xué)光刻技術(shù)作為集成電路制造的主流技術(shù)，在提高集成電路性能及推動半導(dǎo)體 產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展方面，起著極為關(guān)鍵的作用。自20世紀(jì)60年代以來，集成電路一直遵循著 Intel公司創(chuàng)始人之一 Gordon Ε. Moore所提出的“摩爾定律”而快速發(fā)展，集成電路集成度 的快速提高主要得益于光學(xué)光刻技術(shù)的快速發(fā)展——...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。