技術(shù)編號(hào):5874965
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及位移信息檢測(cè)裝置,特別是極適合于可以利用向位移物體(光學(xué)標(biāo)度)照射光時(shí)發(fā)生的衍射、高精度地求位移物體的位置信息、轉(zhuǎn)動(dòng)信息或移動(dòng)等的位移信息的物理量的產(chǎn)業(yè)用計(jì)量機(jī)器等的位移信息檢測(cè)裝置。背景技術(shù) 迄今,在產(chǎn)業(yè)用計(jì)量機(jī)器等中,為了檢測(cè)物體(位移物體)的位置信息、移動(dòng)量、轉(zhuǎn)動(dòng)量等位移信息,大多使用的是旋轉(zhuǎn)編碼器或線性編碼器等位移信息檢測(cè)裝置(編碼器)。本申請(qǐng)人迄今為止已提案了各種應(yīng)用光的衍射干涉現(xiàn)象檢測(cè)物體的位置或速度的變化的所謂的光柵干涉方式的編碼器...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。