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一種GaN基HEMT器件的可靠性評(píng)估方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5875197

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本發(fā)明涉及,尤其涉及一種利用GaN基 HEMT器件的低頻噪聲特性進(jìn)行器件可靠性評(píng)估的方法,屬于半導(dǎo)體器件。背景技術(shù)器件的噪聲性能是器件應(yīng)用的關(guān)鍵,特別是低頻噪聲在器件退化機(jī)理研究中的應(yīng)用,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)器件可靠性全面而系統(tǒng)的研究。低頻噪聲對(duì)測(cè)試樣品的研究不具有破壞性, 從而降低了研究的成本。低頻噪聲的研究方法以其高靈敏度、無(wú)損傷及成本低等優(yōu)點(diǎn)在器件可靠性評(píng)價(jià)方法中具有明顯的優(yōu)勢(shì)。GaN基HEMT器件中產(chǎn)生的復(fù)合噪聲(G-R)和閃爍 (Ι/f)噪聲是評(píng)價(jià)器件可靠...
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