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技術(shù)編號(hào)：587674

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本發(fā)明涉及用于除去在半導(dǎo)體器件的制造工序中的干蝕刻和/或灰化(ashing) 時(shí)形成的殘?jiān)乃幰?、使用該藥液除去這些殘?jiān)姆椒ê褪褂迷撍幰撼ミ@些殘?jiān)陌雽?dǎo) 體器件的制造方法。特別涉及在Cu/Low-k多層配線結(jié)構(gòu)的制造中使用的殘?jiān)ヒ骸１尘凹夹g(shù)一直以來，作為配線材料使用Al或Al合金等、作為層間絕緣膜使用SiO2膜的Al/ SiO2多層配線結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件作為核心制作。近年來，為了減少伴隨半導(dǎo)體器件的微細(xì) 化而引起的配線延遲(interconnect ...
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