技術編號：5880162
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及用于半導體集成電路的試驗的電連接裝置和試驗裝置，特別是涉及適 于以一次或分為多次對形成在晶圓上的未切斷的許多集成電路進行測試的裝置的電連接 裝置和試驗裝置。背景技術以一次或分為多次對形成在半導體晶圓上的未切斷的許多集成電路(即被檢查 體)進行測試的裝置一般包括檢查臺，其具有在上表面支承被檢查體的吸盤頂(Chuck top)；電連接裝置，其配置在吸盤頂的上方，用于將被檢查體與外部的電路連接起來。作為這樣的電連接裝置之一，存在如下裝置，該裝置包括芯片...
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