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一種光柵線位移傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5882701

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一種光柵線位移傳感器本發(fā)明涉及一種改善光電信號(hào)質(zhì)量的光柵線位移傳感器。背景技術(shù)光柵線位移傳感器中,標(biāo)尺光柵和指示光柵所形成的莫爾條紋圖樣,被探測(cè)器接 收轉(zhuǎn)換成光電信號(hào),從而完成位移量到光電信號(hào)的轉(zhuǎn)換。但這僅僅是第一步,為了獲得更高 的測(cè)量分辨率,還要對(duì)所獲得的光電信號(hào)進(jìn)行細(xì)分。為了獲得更高的細(xì)分精度,就必須有高 的光電信號(hào)質(zhì)量。現(xiàn)有技術(shù)中采用了指示光柵的窗口中分成兩個(gè)或四個(gè)小區(qū)間并移相的方法來提 高光電信號(hào)的質(zhì)量。但這種方法過于簡(jiǎn)單,沒有考慮四個(gè)窗口之間如...
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