技術編號：5884983
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及氧化鋯傳感器用集成芯片，尤其是一種片狀氧傳感器芯片的 制造方法。背景技術隨著汽車排放法規(guī)的日益提高，對廢氣排放控制要求也越來越高，為此汽車發(fā)動 機需要更短的冷啟動時間來滿足要求。同時考慮能源節(jié)省的需要，一種集成度高、體積小、 消耗功率小、啟動速度快的片式氧傳感器成為一種趨勢，以滿足發(fā)動機電噴系統冷啟動后 盡可能快速進入閉環(huán)控制的要求，同時降低氧傳感器的電能消耗。目前已有的片式傳感器結構主要由3層氧化鋯基板和若干功能厚膜層組成，氧化 鋯基板主要通過...
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