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加速度傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5888840

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加速度傳感器本實(shí)用新型涉及一種加速度傳感器,尤其一種應(yīng)用于地震勘測(cè)裝置的加速度傳感O背景技術(shù)傳統(tǒng)的地震檢波器為電磁感應(yīng)式檢波器,其通過電磁感應(yīng)的方式將振動(dòng)信號(hào)轉(zhuǎn)換 為模擬電信號(hào)輸出,該方式也是現(xiàn)今應(yīng)用最普遍的檢波器。區(qū)別于傳統(tǒng)檢波器,以MEMS技 術(shù)為核心的數(shù)字檢波器近年來取得了飛速發(fā)展,為地震檢波器技術(shù)帶來新的突破。隨著 MEMS技術(shù)的發(fā)展及數(shù)字檢波器測(cè)試技術(shù)的不斷成熟和完善,數(shù)字地震檢波器必將是長(zhǎng)期發(fā) 展的必然趨勢(shì)。MEMS技術(shù)以硅材料為基底,結(jié)合微機(jī)...
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