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偏振橫向剪切干涉儀的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5889315

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本實(shí)用新型涉及光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域,是一種偏振橫向剪切干涉儀,特別是一種剪切量 可調(diào)的等光程偏振橫向剪切干涉儀背景技術(shù)波前測(cè)量技術(shù)廣泛應(yīng)用于光學(xué)加工、激光通訊、傳感探測(cè)等領(lǐng)域。波前測(cè)量方法主 要有波前斜率探測(cè)反演方法、波前曲率探測(cè)反演方法、波前聚焦光斑探測(cè)反演方法、干涉條 紋分析反演方法,其中干涉條紋分析反演方法具有高精度、高空間分辨率等優(yōu)點(diǎn)。在干涉條 紋分析反演方法采用的不同類(lèi)型干涉儀中,橫向剪切干涉儀將被測(cè)波前與其橫向剪切復(fù)制 的波前產(chǎn)生干涉,無(wú)需標(biāo)準(zhǔn)參考面且...
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