技術編號：5891179
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種薄膜壓力溫度復合傳感器，特別是一種用于超低溫環(huán)境的薄膜式 壓力溫度復合傳感器。技術背景 隨著航天總體技術的發(fā)展，提出了對超低溫環(huán)境下壓力參數(shù)和溫度參數(shù)的測量要 求。一方面，為了提高航天飛行器的有效載荷，集成化成為傳感器技術發(fā)展的趨勢。另一方 面，為了滿足超低溫環(huán)境壓力測量精度要求，要求靈敏度溫度系數(shù)很小，而由于薄膜壓力傳 感器的合金薄膜電阻在寬溫區(qū)范圍內的靈敏度溫度系數(shù)比較大，因此導致傳感器低溫測量 誤差較大，需要對壓力傳感器的靈敏度溫度系數(shù)...
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