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絕對(duì)位置測(cè)量容柵位移傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5896343

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本實(shí)用新型涉及電容式位移測(cè)量技術(shù),具體是一種絕對(duì)位置測(cè)量容柵位移傳感O背景技術(shù)容柵位移傳感器以其低成本、小體積、微功耗等特點(diǎn)在線性/角度位移測(cè)量領(lǐng)域 獲得了廣泛的應(yīng)用。從實(shí)現(xiàn)原理上分,目前的容柵位移傳感器可分為相對(duì)位置測(cè)量(增 量式)和絕對(duì)位置測(cè)量(絕對(duì)式)兩大類(lèi)。增量式容柵位移傳感器的應(yīng)用已約三十年,該 類(lèi)傳感器需快速累加位移量,故存在測(cè)量速度限制(小于1. 5m/S@150KHz)和連續(xù)不間斷 測(cè)量(從而限制了工作電流的進(jìn)一步降低)兩個(gè)缺點(diǎn),正被逐步淘...
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