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基于熱損失工作方式的圓形鉑金薄膜二維風(fēng)速風(fēng)向傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5899689

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本實(shí)用新型提供了一種二維風(fēng)速風(fēng)向傳感器結(jié)構(gòu),利用電阻抗斷層成像(EIT)測(cè) 量原理進(jìn)行傳感計(jì)算,以圓形鉬金薄膜作為傳感薄膜,基于熱損失方式工作,以熱分布變化 所產(chǎn)生的圓形鉬金薄膜電阻率分布的變化計(jì)算風(fēng)速大小和風(fēng)的方向。背景技術(shù)風(fēng)速風(fēng)向傳感器是重要的傳感器之一,有著非常廣泛的用途。目前的大多數(shù)風(fēng)速 風(fēng)向傳感器采用集總參數(shù)的測(cè)量方法,例如,檢測(cè)熱敏電阻變化或平板電容變化的方法。無(wú) 法直接定量表示傳感結(jié)構(gòu)面上各點(diǎn)的風(fēng)速和風(fēng)向。鉬金是最常用的熱敏電阻材料,對(duì)于具有...
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