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一種雪崩光電探測器及光能檢測裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5902280

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本實用新型屬于光電,尤其涉及一種雪崩光電探測器及光能檢測裝置。 背景技術(shù)光電探測器是光通信、光互連和光電集成技術(shù)中關(guān)鍵的光電器件之一,目前在軍 事和國民經(jīng)濟的各個領(lǐng)域都有廣泛的用途,而雪崩光電探測器又以高響應(yīng)度和靈敏度受到 市場歡迎。目前,雪崩光電探測器分為垂直入射結(jié)構(gòu)和波導邊入射結(jié)構(gòu),垂直入射結(jié)構(gòu)的光 傳輸方向和載流子運動方向平行,因而器件的響應(yīng)度和帶寬相互制約,嚴重影響了器件的 整體性能;而波導邊入射結(jié)構(gòu)雖然使器件的響應(yīng)度和帶寬不再互相影響,但是由于吸...
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