技術(shù)編號(hào)：5904421
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種流量控制器老化測試裝置，尤其涉及一種傳感器電老化測試直O(jiān)背景技術(shù)質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測量。流量傳感器是構(gòu)成質(zhì)量流量控制器的重要部件，采用毛細(xì)管溫差量熱法測量氣體的質(zhì)量流量。將傳感器加熱電橋測得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定流量相等。傳感器電老化測試是質(zhì)量流量傳感器生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，現(xiàn)有技術(shù)中的方法是直接給流...
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