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技術(shù)編號(hào)：5907555

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本實(shí)用新型涉及一種用于三甲基鋁中微量雜質(zhì)分析的三甲基鋁HCl分解裝置。 背景技術(shù)三甲基鋁(TMAl)是LED外延生長(zhǎng)用非常重要的一種金屬有機(jī)化合物。其化學(xué)性質(zhì)非?；顫?，遇水爆炸、遇氧燃燒。所以必須在特定的氣氛中將其分解成性質(zhì)溫和的無機(jī)物才能進(jìn)入儀器進(jìn)行雜質(zhì)元素測(cè)定，根據(jù)方程式2 (CH3) 3A1+1202 = A1203+9H20+6C02 ；TMAl在少量空氣中會(huì)緩慢氧化成Al2O3，分解過程中會(huì)形成不同晶型的Al2O3，有些晶型的Al2O3無法完全溶...
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