技術(shù)編號：5921054
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種探針卡檢測裝置，尤指一種自動檢測探針卡的接腳位置是否正確的裝置。背景技術(shù)圖6所示為習(xí)用的探針卡檢測裝置，在檢測時可利用治具將探針卡定位在平臺90 上，此平臺90上具有模擬晶圓各個接腳墊的位置標(biāo)示，藉由平臺90上方的顯微鏡觀測器91 觀測探針卡的接腳位置是否符合各個接腳墊的位置，此時顯微鏡觀測器91所觀測到的影像傳輸至電腦裝置92，并由顯示器93顯示所觀測到的影像，檢測者若由顯示器93觀測出探針卡的接腳位置與接腳墊的標(biāo)示有誤，便將探針卡由平...
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