技術(shù)編號：5923112
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及半導體集成電路制造領(lǐng)域，屬于一種標記裝置，尤其涉及一種用于手動探針臺標記晶粒的裝置。背景技術(shù)手動探針臺是半導體測試分析中常用的工具，主要用于半導體產(chǎn)品的DC參數(shù)測試。在使用手動探針臺對晶圓上各個晶粒測試的過程中，如果遇到合適的晶粒需要做后續(xù)的分析就需要對其進行標記。由于晶粒太小，標記晶粒對工程師而言是一個麻煩且容易出錯的事情。使用手動探針臺測試時，對晶粒做標記的方法主要有兩個，一種方法是用肉眼看準需要做標記的晶粒，然后移動晶圓至合適位置，用記...
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