技術(shù)編號(hào)：5931033
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體，涉及半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)及加工時(shí)的晶片生產(chǎn)加工，具體地說更涉及一種晶體材料檢查裝置。背景技術(shù)在半導(dǎo)體設(shè)計(jì)及加工領(lǐng)域，晶片如藍(lán)寶石的質(zhì)量，對(duì)后續(xù)在其上生長的MgB2超導(dǎo)薄膜、第三代半導(dǎo)體材料GaN薄膜以及制備藍(lán)光二極管的性能和成品率有很大影響，因此， 作為基礎(chǔ)材料的藍(lán)寶石襯底晶片的質(zhì)量必須首先得到保證，并且現(xiàn)在的芯片要求也越來越高，微型化和高性能的趨勢(shì)對(duì)基礎(chǔ)材料的質(zhì)量要求必然越來越高。為了滿足日益嚴(yán)格的質(zhì)量要求，則要生產(chǎn)高品質(zhì)的藍(lán)寶石晶片，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。