技術(shù)編號(hào)：5939275
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種滲漏檢測裝置，包括用于連接測試室的測試入口、連接至測試氣體檢測器的高真空泵，和包括至少兩個(gè)泵級(jí)(pump stage)的初步真空泵(預(yù)真空泵)。背景技術(shù)已知已經(jīng)有用于連接至測試室的滲漏檢測裝置，該測試室容納針對(duì)密封性的待檢測的測試樣品。該測試樣品包含輕的測試氣體，例如氦氣，其可以被測試氣體檢測器(例如質(zhì)譜儀)檢測到。該測試氣體檢測器需要低于l(T4mbar的高真空。該高真空通過高真空泵產(chǎn)生，該高真空泵與初步真空泵串聯(lián)運(yùn)行。該高真空泵通常包括渦...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。