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溫度控制方法以及等離子體處理系統(tǒng)的制作方法技術資料下載

技術編號:5945294

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本發(fā)明涉及一種溫度控制方法以及等離子體處理系統(tǒng)。尤其涉及一種對被處理體進行加工時的溫度控制。背景技術例如,在對半導體晶圓實施蝕亥IJ、成膜等的情況下,晶圓的溫度控制影響晶圓的成膜率、蝕刻率,從而影響形成于晶圓上的膜的性質、孔的形狀等。因此,為了提高晶圓的加工精確度、使成品率良好、提高生產能力,提高晶圓的溫度控制的精確度是非常重要的。因此,以往提出了一種使用電阻溫度計、測量晶圓背面的溫度的熒光式溫度計等的晶圓的溫度測量方法。在專利文獻I中,公開了如下一種方法...
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