技術(shù)編號：5945380
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備制造過程中的測試技術(shù)。背景技術(shù) 參考圖8，對半導(dǎo)體制造過程中所進(jìn)行的普通測試進(jìn)行描述。在半導(dǎo)體設(shè)備制造過程中進(jìn)行功能測試和掃描測試。功能測試是一種測試方法，其中向數(shù)據(jù)輸入8提供測試矢量，在組合電路3、4和5中進(jìn)行邏輯計算，并將作為邏輯計算結(jié)果的數(shù)據(jù)輸出9與期望值進(jìn)行比較，從而檢測故障。與此相比，在掃描測試中，利用獨立于正常操作的掃描鏈來隨機(jī)組合觸發(fā)器。在掃描測試模式中，從掃描輸入6中移位輸入測試數(shù)據(jù)，并在各個觸發(fā)器中設(shè)置值。在設(shè)置之...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。