技術(shù)編號：5949004
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及電容加速度計，更具體地說，涉及能與x和y軸加速度計一起集成為單個芯片并最小化電容變化以便實現(xiàn)z軸方向中的良好的加速度靈敏度以及利用低成本的放大器和過濾器的電容z軸加速度計。背景技術(shù) 加速度計被稱為微型機電系統(tǒng)(MEMS)設(shè)備。MEMS設(shè)備表示受電控制和測量的微刻度機械設(shè)備，其中MEMS是用于通過半導(dǎo)體工藝，制造機械和電子設(shè)備的技術(shù)。當(dāng)前正在開發(fā)能測量加速度的各種加速度計，以及用在車輛氣囊系統(tǒng)、防抱死制動系統(tǒng)(ABS)和一般振動計中。加速度計主要通...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。