技術(shù)編號：5950896
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提出了基于微機械硅基固支梁的頻率檢測器，屬于微電子機械系統(tǒng)(MEMS)的。背景技術(shù)頻率是表征微波信號的三大基本參數(shù)之一。微波信號頻率檢測器在雷達(dá)電子探測系統(tǒng)和微波通信領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。已有的微波頻率檢測器其原理是設(shè)法將被測量頻率直接或者間接地與標(biāo)準(zhǔn)頻率進(jìn)行比較。目前，廣泛使用的頻率測量方法可分為以下四種夕卜差法、計數(shù)法、諧振法和比相法，它們具有高精度和寬頻帶的優(yōu)點，然而其最大的缺點是需要比較精密的測量儀器。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)代個人通信系統(tǒng)要求微...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。