技術(shù)編號：5950897
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提出了基于微機(jī)械砷化鎵基的懸臂梁相位檢測器及制備方法，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的。背景技術(shù)在微波技術(shù)研究中，相位是表征微波信號的重要參數(shù)之一。微波信號相位檢測系統(tǒng)在相位調(diào)制器、相移鍵控、微波定位、天線相位方向圖的測試和近場診斷等方面都有極其廣泛的應(yīng)用?，F(xiàn)有的微波相位檢測技術(shù)是基于二極管、乘法器和矢量運(yùn)算原理，它們具有低損耗、高靈敏度和寬頻帶的優(yōu)點(diǎn)，然而其最大的缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)復(fù)雜。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)代個人通信系統(tǒng)和雷達(dá)系統(tǒng)對微波相位檢測器的要求...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。