技術(shù)編號：5951482
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，利用表面等離子體波在半導(dǎo)體表面的傳播特性對半導(dǎo)體等離子體頻率進(jìn)行測量，屬于半導(dǎo)體性能參數(shù)測量。背景技術(shù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是電子工業(yè)的基礎(chǔ)，半導(dǎo)體器件在工業(yè)生產(chǎn)與日常生活的各個方面已大量被使用，而半導(dǎo)體器件的發(fā)展水平已成為衡量一個國家綜合國力的重要標(biāo)志之一。如今，半導(dǎo)體器件的發(fā)展很大程度上依賴于新型的半導(dǎo)體材料的開發(fā)。當(dāng)一個新的材料開發(fā)后，需要對該材料特性進(jìn)行測量。而半導(dǎo)體的等離子體頻率是半導(dǎo)體特性中較為重要的一個參數(shù)，所以開發(fā)一種簡單實(shí)用的測量半導(dǎo)體等...
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