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光學(xué)特性測(cè)量裝置以及光學(xué)特性測(cè)量方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5954876

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本發(fā)明涉及ー種光學(xué)特性測(cè)量 裝置以及光學(xué)特性測(cè)量方法,涉及ー種能夠求出形成在基板上的膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)(折射率n、消光系數(shù)k)的光學(xué)特性測(cè)量裝置以及光學(xué)特性測(cè)量方法。背景技術(shù)在制造半導(dǎo)體裝置、平板顯示器時(shí)需要在基板上形成多個(gè)膜。為了測(cè)量所形成的膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù),例如使用日本特開(kāi)2000-65536號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)I)公開(kāi)的反射分光膜厚計(jì)。反射分光膜厚計(jì)使從白色光源發(fā)射的光通過(guò)半透半反鏡進(jìn)行反射并通過(guò)透鏡照射到基板上。而且,反射分光膜厚計(jì)使來(lái)自基板的反...
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