技術編號：5955127
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種熱釋電紅外探測器的制造エ藝，尤其涉及ー種具有硅杯凹槽結構的熱釋電厚膜探測器的制備方法，屬于電子材料與元器件。背景技術熱釋電紅外探測器利用熱釋電材料的熱釋電效應工作。熱釋電材料處于低于居里溫度的恒溫環(huán)境時，其自極化電荷密度保持不變，這些電荷被空氣中的帶電離子中和；當紅外輻射入射熱釋電材料，被材料吸收后，材料溫度升高，自極化強度變小，即電荷面密度變小。這樣，熱釋電材料表面存在多余的中和電荷，這些電荷以電壓或電流的形式輸出，該輸出信號可以用來探測輻...
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