技術(shù)編號：5955956
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種探針裝置，用于對諸如半導(dǎo)體集成電路和液晶板這樣的電子裝置的電學(xué)性能進(jìn)行檢查。背景技術(shù)通常來說，公知的探針裝置具有一個(gè)探針，該探針與樣品上的電極發(fā)生接觸，并且多個(gè)平行排列的導(dǎo)線的末端部分從基底上突伸出來。在由日本已公開專利No.2002-286755公開的探針裝置中，由于微小探針從基底上突伸出來，所以該探針裝置可以在不會(huì)于樣品上施加較大動(dòng)力的條件下受到過驅(qū)動(dòng)(overdriven)，并且多個(gè)探針可以確保同時(shí)與樣品上的多個(gè)電極發(fā)生接觸。另一方...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。