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一種空間相移器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5956197

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本發(fā)明涉及一種光學(xué)儀器,具體涉及一種空間相移器。背景技術(shù)電子散斑干涉技術(shù)(ESPI)是以激光散斑作為被測物場變化信息的載體,利用被測物體在受激光照射后產(chǎn)生干涉散斑場的相關(guān)條紋來檢測雙光束波前后之間的相位變化。一束激光被透鏡擴展并投射到被檢測物體的表面上,反射光與從激光器直接投射到攝像機的參考光光束發(fā)生干涉,在被照射的表面產(chǎn)生散斑場及一系列散斑圖像。當(dāng)物體運動時,這些散斑會隨之發(fā)生變化,這些變化表征出被測物體表面的位移場變化或形變信息。使用CCD (電荷耦合...
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