技術(shù)編號：5957113
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及運(yùn)用單晶硅膜作為壓力敏感膜的，具有抗電磁干擾、可組成分布壓力測量網(wǎng)絡(luò)等性能的光纖MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))壓力傳感器及其制作方法。背景技術(shù) 目前通常使用的絕對、相對壓力傳感器結(jié)構(gòu)當(dāng)中，法布里—珀羅光干涉腔是采用以下工藝實(shí)現(xiàn)的。首先將硼硅玻璃光刻制作好圖案；然后用BOE腐蝕液對未使用光刻膠掩蔽的硼硅玻璃進(jìn)行腐蝕，腐蝕得到所需厚度的空腔；最后運(yùn)用陽極鍵合工藝將硼硅玻璃與硅片緊密鍵合在一起，制作法布里—珀羅光干涉腔。如果制作相對壓力傳感器，則在硅片與硼硅玻...
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