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光學(xué)探測器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5958627

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本發(fā)明涉及一種光學(xué)探測器(probe )。背景技術(shù)傳統(tǒng)上已知非接觸式光學(xué)探測器(例如見于PCT國際申請No. 2009-534969的日本譯文公布)。這種非接觸式光學(xué)探測器使用激光照射待測量的物體(以下稱為工件),檢測由工件的表面反射的光,以及獲得工件的各個點的位置坐標(biāo)。已知如圖10中示出的線光學(xué)探測器100,作為非接觸式光學(xué)探測器的示例。線光學(xué)探測器100使用擴(kuò)束器103,該擴(kuò)束器103允許激光變化形狀為光LI,光LI在形狀上為線的(以下稱為線激光)。在...
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