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位移傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5960155

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本發(fā)明涉及位移傳感器,尤其涉及適用于自動(dòng)對(duì)焦控制中的位移傳感器。背景技術(shù)在對(duì)薄膜太陽(yáng)能電池面板執(zhí)行激光加工的情況中,由于發(fā)射出加工激光束的物鏡與加工表面之間的距離發(fā)生改變(所述改變是由于薄膜在其上蒸發(fā)的玻璃基板的彎曲所致),因而激光束的焦點(diǎn)位置需要遵從加工表面。因此,激光加工設(shè)備通常裝有自動(dòng)對(duì)焦功能,所述自動(dòng)對(duì)焦功能根據(jù)加工表面的豎直變化,使物鏡自動(dòng)聚焦。位移傳感器通常用于控制自動(dòng)對(duì)焦功能。位移傳感器使用作為測(cè)量激光束的探測(cè)光照射工件(比如,薄膜太陽(yáng)能電池...
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