技術(shù)編號(hào):5960155
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及位移傳感器,尤其涉及適用于自動(dòng)對(duì)焦控制中的位移傳感器。背景技術(shù)在對(duì)薄膜太陽(yáng)能電池面板執(zhí)行激光加工的情況中,由于發(fā)射出加工激光束的物鏡與加工表面之間的距離發(fā)生改變(所述改變是由于薄膜在其上蒸發(fā)的玻璃基板的彎曲所致),因而激光束的焦點(diǎn)位置需要遵從加工表面。因此,激光加工設(shè)備通常裝有自動(dòng)對(duì)焦功能,所述自動(dòng)對(duì)焦功能根據(jù)加工表面的豎直變化,使物鏡自動(dòng)聚焦。位移傳感器通常用于控制自動(dòng)對(duì)焦功能。位移傳感器使用作為測(cè)量激光束的探測(cè)光照射工件(比如,薄膜太陽(yáng)能電池...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。