技術(shù)編號：5964020
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種帶振動補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅?。背景技術(shù)傳統(tǒng)的機(jī)械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機(jī)械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出，但體積大成本高。相對于傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器，MEMS壓力傳感器的尺寸更小,最大的不超過一個厘米，相對于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)，其性價比大幅度提高。目前的MEMS壓力傳感器主要為硅壓阻式壓力傳感器，其采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的，具有較高的測量精度、較低的功耗和極低的成本。惠斯頓電橋的壓阻式傳感器，...
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