技術(shù)編號：5966720
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于干涉儀誤差的評估領(lǐng)域，具體涉及。背景技術(shù)移相干涉儀是一種高精密的光學測量設(shè)備，被廣泛應用于科研與生產(chǎn)中。作為一種高精密的光學儀器，移相干涉儀利用其自身高精密的光學和機械部件來保證其測試精度。經(jīng)過長時間的使用，不斷增加的隨機誤差會對干涉儀的測量精度產(chǎn)生影響。通常情況下，需要采用多種昂貴的高精密儀器來分析尋找隨機誤差源。這大大地增加了干涉儀的維護和使用成本。發(fā)明內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明提供了，該方法通過對隨機誤差的模態(tài)進行分析，通過比...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。