技術(shù)編號：5968002
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于半導體，尤其涉及。背景技術(shù)石墨烯材料是一種碳基二維晶體，是目前已知最輕最薄的材料，單層僅原子厚度，它具有極其優(yōu)異的物理化學性質(zhì)，比如極高的載流子遷移率(理論估計超過 200000( ^1 s—1，是Si的數(shù)百倍)，超強的機械性能(楊氏模量約1000GP)，極高的比表面積和極好的氣敏特性，極高的透明性和柔韌性，而且它與襯底不存在失配問題，可以與Si基器件工藝完全兼容，具有突出的產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢。因此，石墨烯的出現(xiàn)為產(chǎn)業(yè)界和科技界帶來曙光， 它是最被看好的替...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。