技術(shù)編號：599922
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種多羥基化合物和含有該多羥基化合物的化學(xué)放大 型抗蝕劑組合物。背景技術(shù)化學(xué)放大型抗蝕劑組合物用于半導(dǎo)體微制造。在半導(dǎo)體微制造中，希望形成具有高分辨率、高敏感性和良好線 邊^(qū)糙度的圖案，預(yù)計化學(xué)放大型抗蝕劑組合物能提供這樣的圖案。JP 2006-58739 A公開了一種含多羥基化合物的化學(xué)放大型抗蝕 劑組合物，其中至少一個接到苯基上的羥基被1-乙氧基乙基所保護。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的一個目的是提供能提供化學(xué)放大型抗蝕劑組合物的新型 多羥基化合物，其中所...
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