技術(shù)編號：6000279
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種測試儀，尤其是涉及一種半導(dǎo)體材料少子壽命無接觸非破壞測試儀。背景技術(shù)半導(dǎo)體薄片材料中的少子擴(kuò)散長度、少子壽命及表面復(fù)合速度是表征半導(dǎo)體材料性能的一些重要參數(shù)，在器件制造過程中可以通過測試這些參數(shù)作為器件工藝監(jiān)控的一種手段。其中非平衡少數(shù)載流子壽命是最基本的參數(shù)之一，它與材料的完整性、某些雜質(zhì)的含量以及樣品的表面狀態(tài)有極密切的關(guān)系，直接影響雙極性器件的直流放大倍數(shù)、開關(guān)時間、MOS動態(tài)存貯器的刷新時間、PN結(jié)漏電流及CCD器件的轉(zhuǎn)換效率等性...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。