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壓電驅(qū)動(dòng)裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6000456

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壓電驅(qū)動(dòng)裝置本發(fā)明涉及一種壓電驅(qū)動(dòng)裝置特別是如權(quán)利要求1的前序部分所述的用于地形或坐標(biāo)測(cè)量機(jī)器中的壓電驅(qū)動(dòng)裝置。在許多精確裝置例如地形測(cè)量機(jī)器中,需要多個(gè)元件或整個(gè)機(jī)器的移動(dòng)。此時(shí),需要精確實(shí)現(xiàn)移動(dòng),而在動(dòng)態(tài)應(yīng)用的情況下,還需要滿意的速度,經(jīng)常假設(shè)啟動(dòng)和/或重復(fù)是高精度的。此外,適于野外的機(jī)器從根本上來講要求驅(qū)動(dòng)裝置的魯棒性、低能耗和寬溫度范圍內(nèi)的可靠操作性。這種測(cè)量機(jī)器的例子為經(jīng)緯儀或準(zhǔn)距儀,其-與集成的自動(dòng)目標(biāo)獲取和目標(biāo)跟蹤裝置相結(jié)合-用于多種測(cè)量任務(wù)...
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