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具有嵌套的線性振蕩地震元件的雙軸抗震旋轉(zhuǎn)速率傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6001680

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具有嵌套的線性振蕩地震元件的雙軸抗震旋轉(zhuǎn)速率傳感器本發(fā)明涉及根據(jù)權(quán)利要求1前敘部分的微機(jī)械旋轉(zhuǎn)速率傳感器,以及其在機(jī)動(dòng)車(chē)中的使用。文檔W02008015044提供了一種旋轉(zhuǎn)速率傳感器,其由兩個(gè)經(jīng)由彈簧而彼此耦合的嵌套的地震元件組成。兩個(gè)元件具有相同的質(zhì)量。在驅(qū)動(dòng)模式中,兩個(gè)質(zhì)量塊(mas s) 在χ方向逆相振蕩。讀取模式的特征是地震質(zhì)量塊在ζ方向遠(yuǎn)離基板平面逆相振蕩,由此允許檢測(cè)到繞著χ軸的旋轉(zhuǎn)速率。由于質(zhì)量塊平衡且由于它們的重心位于彼此之上這個(gè)事實(shí),沒(méi)有...
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