技術編號：6003547
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種制備于一種各向異性導熱襯底結構的熱式風速風向傳感器，尤其 涉及一種低功耗的可實現自封裝的風速風向傳感器及其制備方法。背景技術在熱式風速風向傳感器的設計中，封裝一直以來是阻礙其發(fā)展的技術瓶頸。一方 面其封裝材料即要求具有良好的熱傳導性能，又要求對傳感器具有保護作用，并且設計中 還需要考慮到封裝材料對傳感器靈敏度、可靠性以及價格等方面的影響，這就限制了傳感 器自身封裝設計的自由度。另一方面，熱式流量傳感器要求傳感器的敏感部分暴露在測量 環(huán)境中，同...
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