技術(shù)編號：6011913
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種超硬金剛石薄膜力學(xué)性能的測量與評價(jià)技術(shù)，具體地說，涉及，尤其是指厚度范圍為數(shù)微米(μπι)至數(shù)百微米 (μ m)的金剛石薄膜，力學(xué)性能包括薄膜硬度和彈性模量、薄膜與基體間的結(jié)合力。背景技術(shù)近年來，利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)法等方法來制備超硬金剛石薄膜材料的研究已取得了迅速的發(fā)展，金剛石薄膜的制備與應(yīng)用已成為薄膜材料領(lǐng)域一個重要的研究方向。包括硬...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。