技術(shù)編號：6016551
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，尤其是一種適用于多層材料缺陷檢測的多層同時(shí)掃描成像方法。背景技術(shù)掃描超聲波顯微鏡因?yàn)槠錈o損、可對內(nèi)部結(jié)構(gòu)掃查、輻射小等優(yōu)點(diǎn)廣泛應(yīng)用于電子芯片、微納米器件的檢測，成為精密無損檢測領(lǐng)域內(nèi)不可替代的設(shè)備。大多數(shù)掃描超聲波顯微鏡是采用脈沖回波技術(shù)工作的，即一個(gè)特殊的聲學(xué)組件(如超聲波探頭)發(fā)射、接收高頻短脈沖的聲波。掃描超聲波顯微鏡整體結(jié)構(gòu)如圖1所示。被測材料浸沒于水中，超聲波探頭通過夾具固定于Z軸直線電機(jī)的動子上，用來發(fā)送超聲波信號和接收從被測材料返...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。