技術(shù)編號(hào)：6018759
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，適用于超聲掃描顯微鏡檢測及 超聲波C掃描檢測領(lǐng)域。二、背景技術(shù)超聲掃描顯微鏡是檢測電子封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)部缺陷的一種非常有效的手段，它是一種 利用聚焦高頻超聲，通常為IOMHz 2GHz，對物體表面、亞表面及其內(nèi)部一定深度內(nèi)的細(xì)微 結(jié)構(gòu)顯微成像，進(jìn)行可視化觀察的技術(shù)，它主要是針對半導(dǎo)體器件、芯片、材料內(nèi)部的失效 分析，可以檢查材料內(nèi)部的晶格結(jié)構(gòu)，雜質(zhì)顆粒、內(nèi)部裂紋、分層缺陷、空洞、氣泡等。超聲掃描顯微鏡所用的高頻聚焦超聲換能器是其最關(guān)鍵的部件，它的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。