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一種高精度調(diào)整裝置及高精度調(diào)整方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6020636

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備,特別涉及。背景技術(shù)目前,在機(jī)械和半導(dǎo)體行業(yè)中,重要的零部件之間機(jī)械調(diào)整精度(微米級(jí))及安裝精度多采用調(diào)整裝置來(lái)進(jìn)行調(diào)整及定位。例如安裝集成電路制造設(shè)備光刻機(jī)的零位傳感器部件也采用調(diào)整裝置來(lái)調(diào)整定位?,F(xiàn)在,多數(shù)精密機(jī)械的安裝都采用通用調(diào)整裝置或?qū)S谜{(diào)整裝置來(lái)完成。現(xiàn)有技術(shù)的通用調(diào)整裝置或?qū)S谜{(diào)整裝置可以比較容易實(shí)現(xiàn)對(duì)工件進(jìn)行十微米及幾十微米的調(diào)整及定位。但是,當(dāng)工件安裝需要一兩個(gè)微米的調(diào)整及定位時(shí)現(xiàn)有技術(shù)的通用調(diào)整裝置或?qū)S谜{(diào)整裝置...
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