技術(shù)編號：6021868
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種光學角度測量裝置。 背景技術(shù)基于干涉掃描原理的高分辨率光學角度測量裝置大多對于帶有布置其上的測量分度(Messteilung)的分度盤僅具有小的附裝公差(Anbautoleranz)。在申請人的DE 10 2010 029 211. 7中公開了一種解決該問題的測量裝置。通過預先規(guī)定地使用后向反射器和波前校正器能夠最小化所得的波前失真(Wellenfrontverzerrimg)，所述波前失真由徑向分度的掃描引起并且也構(gòu)成僅小的附裝公差的原因。...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。